Deutsch-Chinesische Enzyklopädie, 德汉百科
       
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State Key Laboratory of Microfabrication Optical Technology Deutscher Wortschatz
  1 3 years ago
微細加工光學技術國家重點實驗室 微细加工光学技术国家重点实验室
微细加工光学技术国家重点实验室依托单位为中国科学院光电技术研究所。实验室于1991年由国家计委批准建设成立。实验室以推动微细加工光学技术中关键科学和技术问题的实质性进步为目标,以基础研究服务于国家重大战略需求为宗旨,瞄准微纳光学国际前沿,围绕电磁波与微纳结构相互作用,深入研究微纳结构中电磁波的新现象及机理、微细结构的产生方法,形成新概念材料、微纳光电子器件及系统等方面的基础和应用基础创新研究、人才培养和科普教育基地。 实验室主要开展微纳光学及亚波长光学、微光学与微系统、微纳加工技术及装备、高分辨成像及光谱技术四个方向的研究。研究内容包括:亚波长人工结构材料、超衍射光学、视光学波前工程、微纳光学、微细加工技术及装备、MEMS技术、193nm光刻、轻量化高分辨成像等。
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6 years ago 3 years ago